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156多晶硅片

更新:2017-06-12 17:20:30      点击:
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产品介绍
规格(尺寸)  156*156±0.5  
导电类型  P/B  
晶向  <100>±3°
电阻率范围(欧母·厘米)  0.5~3 Ω.cm
少子寿命 (μs)  ≥2
氧含量(atoms/cm3)  ≤1.0×1018
碳含量(atoms/cm3)  ≤5×1016
位错密度(个/cm2)  ≤3000
晶体硅片边长(mm)  156×156±0.5
对角线(mm)  220±0.5
厚度值(μm)  200±20
厚度差异(μm)  ≤30
弯曲度(μm)  <50
外观状况  清洁,无污,无指纹,无凹坑,无孔洞
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